等离子刻蚀
- 网络Plasma Etching; ETCH; ICP
等离子刻蚀等离子刻蚀
Plasma Etching
干法刻蚀方式很多，一般有：溅射与离子束铣蚀， 等离子刻蚀（Plasma Etching），高压等离子刻蚀，高密度等离子体（HDP…
ETCH
北方微电子公司 Beijing NMC Co.,Ltd.... ... 化合物半导体 Compound Semi 等离子刻蚀 ETCH 物理气相沉积 PVD ...
ICP
•具备反应离子刻蚀(RIE)，等离子刻蚀(PE)和电感藕合等离子刻蚀(ICP)功能；主要用于微电子、光电子、通讯、微机等领域的 …
plasma etch
...化学气相沉积（PECVD），化学气沉积（CVD），等离子刻蚀（plasma etch）,溅射镀膜（Sputtering）,热蒸发镀膜（Therm…
RIE
托普斯（香港）国际贸易有限公司 ... SEM 扫描电镜 RIE 等离子刻蚀 EMMI 光发射显微镜 ...
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