电子束曝光
- 网络EBL; electron beam lithography; electron beam exposure
电子束曝光
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EBL
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E-beam Lithography
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ebe
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Electron Beam Writing
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Electronic Beam Lithography
器件图案的形成使用了电子束曝光(Electronic Beam Lithography)来代替传统的光刻,以达到更高的分辨率(~100纳米)。刻蚀方 …
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