大家在查：湿法刻蚀气相腐蚀反应离子刻蚀剥离技术荧光材料玻尔兹曼分布希尔系数矩阵对数正格子诺瓦东南大学

干法刻蚀

网络Dry Etching; RIE; DRIE

干法刻蚀

干法刻蚀

干法刻蚀

Dry Etching

b.干法刻蚀（dry etching）：等离子体、离子束打磨（刻蚀）和反应离子刻蚀（RIE）■等离子体刻蚀：桶形刻蚀机（barrel etch…

RIE

绝对可以用干法刻蚀（RIE），只不过要加大刻蚀机功率，陶瓷难刻一些，并且处理的时候要小心，陶瓷很容易破碎！贵啊！

DRIE

...流程为，首先在完成制作工艺并测试好的器件晶圆上用 干法刻蚀（DRIE）工艺制备出典型直径为1-3μm的芯片内部通孔，对 …

ET

PMOS - 半导体器件微电子技术-电子科技大学天地 ... • MOS 器件等效电容及电阻计算 • 干法刻蚀 ET • 化学气相沉积技术 CVD ...

Ery Eatching

...准． 3．曝光． 4．显影． 5．刻蚀：采用干法刻蚀（Ery Eatching）．刻蚀：采用干法刻蚀（） 6．去胶：化学方法及干 …

2

Part of the silicon layer was masked and dry etched with SF6 gas to allow connection of the current -collector to the outside circuit .

硅片的一部分经掩膜后进行 SF6 干法刻蚀，从而使集流器能够连接到外电路上。

5

and dry etching the transition layer of the AMR film .

干法刻蚀各向异性磁电阻效应薄膜的过渡层。

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Fabrication and Characterization of Tunneling Current of Anodic Bonded Dry -Etched MEMS Tunneling Accelerometer

基于阳极键合干法刻蚀技术的 MEMS 隧道加速度计的加工及测试

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High performance gallium nitride based blue light emitting diode material epitaxy and dry etching fabrication technology

氮化镓基高亮度发光二极管材料外延和干法刻蚀技术

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Study of Resultants on the Chamber Wall in the Process of Dry Etching of Silicon Gratings

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热氧化方法改善硅干法刻蚀波导的表面粗糙度

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Dry Etching of Thick Aluminum Film for Q-improvement of Spiral Inductors on Silicon

改善硅基螺旋电感品质因数的厚铝膜干法刻蚀

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