multichamber
- 网络多层；多加工室；平行板电容电浆源的多腔体
multichambermultichamber
多层
multicham... ... multichamber vessels design1. 多承压室容器，设计 multichamber1. 多层 multichamber etcher1. 多室腐蚀装置 ...
多加工室
... 能将半导体装置制造商独特之制造模块，加以装 配之多加工室（multichamber）制造装置。
平行板电容电浆源的多腔体
...ek-Vac Model MPS-3000-LL上。这是具平行板电容电浆源的多腔体(multichamber)电浆加强化学气相沉积(chemical-vapor dep…