PIII
- 网络等离子体浸没离子注入(Plasma immersion ion implantation)；浸没离子注入技术；浸没离子布植
PIIIPIII
等离子体浸没离子注入(Plasma immersion ion implantation)
现有等离子体浸没离子注入（PIII），等离子聚合、过滤金属弧源沉积、ECR等离子体改性、非平衡溅射沉积等系列国际先进水 …
浸没离子注入技术
... 2.2.5 注氧离子注入机 2.2.6 等离子体浸没离子注入技术(PIII) 2.3 硅片键合SOI技术（BSOI） 2.3.1 硅-硅键合机理 2.3.2 硅-硅 …
浸没离子布植
...7-023-NU 95WFA04001 78 电浆浸没离子布植(PIII) 应用於高介电层及金属闸 极之研究 96/01 /01 至 96/1 2/31 李志浩 教授 …
等离子浸没离子注入
3.2.1 等离子浸没离子注入（PIII）方法制备DLC膜48-51
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