PECVD
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等离子增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapour deposition)
以等离子增强化学气相沉积(PECVD)形成薄膜光伏电池中最核心的非晶硅吸收层。 洁净明亮的无尘室是薄膜光伏电池生产基地 …
等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统中，利用逐层淀积非晶硅(a-Si)和等离子体氧化相结合的方法制备二氧化硅(SiO林若 …
化学气相沉积设备
台化学气相沉积设备（PECVD），同时另购置4台（进口）尾气处理设备。
化学气相沈积
电 浆辅助化学气相沈积（PECVD）系统使用电浆的辅助能量，使得沈积反应的温度得以降低。在PECVD中由於电浆的作用而 …
等离子体化学气相沉积
用等离子体化学气相沉积（PECVD）法，通过改变[SiH4∶N2] [NH3] 的流量比沉积SiN 薄膜．用椭圆偏.. 全部>> wang5945 热 …
化学气相沉积系统
增强型化学气相沉积系统(PECVD)，涉及领域包括，光伏器件物理、射频技术、真空技术、等离子体技术、电子技术、激光技 …
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