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MOEMS

网络微光机电系统(micro-opto-electro-mechanical systems)；微光电子机械系统；微光电机系统

MOEMS

MOEMS

MOEMS

微光机电系统(micro-opto-electro-mechanical systems)

因此微光机电系统（MOEMS）是微电子机械系统（MEMS）的一个很有前途的应用领域。将 MEMS 与光器件融合于一体的微 …

微光电子机械系统

微光电子机械系统（moems）是一种将mems技术引进到光电子中的新应用。近几年，mems/moems技术的迅速发展使其在汽 …

微光电机系统

以微光电机系统（MOEMS）技术为基础的器件的开发在飞速进行，其中最著名的是Texas仪器公司的数字微反射镜阵列，它们 …

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This paper presents theoretical analysis on the dynamic response of a MOEMS optical switch with a slant lower electrode .

本文从 MOEMS 倾斜下电极扭臂式光开关出发，介绍了动力学分析方法的过程。

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The foreign and domestic development of the MOEMS optical switch has been described .

叙述了国内外目前为止 MOEMS 光开关技术的发展现状。

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Design and Analysis of a Long Wavelength MOEMS Tunable Filter

一种长波长 MOEMS 可调谐滤波器的结构设计和分析

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A Testing Method for a MOEMS Optical Switch Using CCD

采用 CCD 技术的微型光机电系统光开关测试方法

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Applications of MOEMS in Optical Communication

微光电机械系统在光通信中的应用

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Structure Design of M-Z Interference MOEMS Accelerometer

M-Z 干涉型集成光学微加速度传感器结构设计

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