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EUV

网络极紫外光(Extreme Ultra Violet)；极紫外光刻；紫外线

EUV

EUV

EUV

极紫外光(Extreme Ultra Violet)

...奈米以下技术节点下一世代微影技术的主要候选者，传统极紫外光(EUV)所搭配之光罩基板以低热膨胀系数材料(LTEM)为基材…

极紫外光刻

另：纳米压印技术与极紫外光刻(EUV),电子束直写(EBDW)和定向自组装(DSA)并称为下一代芯片光刻技术(NGL)的四大候选人…

紫外线

新技术如超紫外线（EUV）以及无掩膜电子束光刻技术目前还不够成熟，无法满足深纳米工艺的需求。193nm嵌入光刻技术将 …

远紫外

　　原本被看好的远紫外（EUV）光刻技术在迟迟难获实质进展之时，193 Immersion Lithography （浸没式光刻）技术似乎又成了 …

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Nikon and rival ASML Holding NV are going toe-to-toe in lithography , but the two the companies have markedly different strategies .

尼康和 ASML 在高端光刻机领域是一对死对头，不过两家公司的 EUV 战略有着显著的不同之处。

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An EUV Lithography mask, a fabrication method, and use method thereof is provided .

本发明提供了一种 EUV 光刻掩模、其制造方法与其使用方法。

3

We are greatly interested in the EUV brightenings observed by TRACE and SOHO in recent years .

近年来 TRACE 卫星和 SOHO 卫星观测到的 EUV 增亮事件引起了人们的极大兴趣。

4

Wavelength calibration of EUV and soft X -ray monochromator measured by hollow cathode source

用空心阴极光源标定极紫外 -软 X 射线单色仪

5

Analysis of the reflective performance of EUV multilayer under the influence of capping layer

帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析

6

Platform for Measuring the Reflectivity of EUV Multiplayer Films

一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台

7

The Experiment Study on the Resolution of Electro-Optical Imaging System at EUV Wave Band

EUV 波段电光成像系统分辨率的实验研究

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Testing system for performance of EUV solar telescope

极紫外太阳望远镜成像质量检测系统设计

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