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- 网络四氟化碳；电子级四氟化碳；四氟甲烷
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四氟化碳
四氟化碳是最有效的温室气体，火星上建造几百座化工厂，不停地制造四氟化碳（CF4），使星的平均温度升高30℃。 第二步…
电子级四氟化碳
电子级四氟化碳(CF4)≥99.999% O2+Ar<2,CO+CO2<1,N2<5,CH4<1,H2O<1,其它卤代氢<1 电子级三氟化硼(BF3) ≥99.99% O2<…
四氟甲烷
使用气体包括四氟甲烷（CF4）、六氟乙烷（C2F6）、八氟丙烷（C3F8）、八氟环丁烷（c-C4H8）、三氟化氮（NF3）、六 …
四氟化碳气体
四氟化碳气体（CF4）硅烷气（SiH4）笑气（N2O） 高纯度氯化氢气 氪气（Kr） 它们的技术要求如表6所示。
氟四甲
半导体废气制程排放 - Exhaust System -... ... 三氯化 BCl3 氟四甲 CF4 六氟乙烷 C2F6 ...
四氟化硫
...(以 HF 计) 矿物油 纯度(SF6) 毒 性 四氟化硫(CF4) 空气(N2+O2) 湿度(H2O) 酸度(以 HF 计) ≤0.05%(质量分数) ≤0.05%(质量 …