微缺陷

  • 网络micro defect; Wang Jiun-Han

微缺陷微缺陷

微缺陷

micro defect

...支8寸CZ矽晶棒,其氧、碳含量已得到很好的控制,且微缺陷(micro defect)之数量也控制在IC 8寸晶圆等级的水准之上。

Wang Jiun-Han

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