气相外延
- 网络VPE; vapor phase epitaxy; MOVPE
气相外延气相外延
VPE
有气相外延（VPE）、液相外延（LPE）、金属有机物化学气相淀积（MOCVD）、分子束外延（MBE）。它们生长LED有源层 …
vapor phase epitaxy
半导体缺陷解析及中英文术语一览 -... ... 外延 epitaxy 气相外延 vapor phase epitaxy 液相外延 liquid phase epitaxy ...
MOVPE
AlN 采用金属有机物 化学气相外延（MOVPE）或分子束外延（MBE）生长在蓝宝石衬底上，典型的厚度是 1 微 米。 1983 年…
HVPE
生长GaN体单晶很困难，所以一直用卤化物气相外延（HVPE）法生长。在众多的外延生长技术中，金属有机物化学汽相淀积(M…
Hydride Vapor Phase Epitaxy
...lecular Beam Epitaxy)，卤化物气相外延(Hydride Vapor Phase Epitaxy)，此外还 有比较新颖的横向外延过生长(LateralEpitaxi…
Gas Phase Epitaxy
GPE是什么意... ... Gravitational Potential Energy [力]重[引]力位能 Gas Phase Epitaxy 气相外延 Gas Phase Etching 气相腐蚀 ...
vapour phase epitaxy
气相外延(vapour phase epitaxy)在衬底表面附近发生的是一个气-固-液多相反应。
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