离子束溅射

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  • 网络ion beam sputtering; IBS; DIBS

离子束溅射离子束溅射

离子束溅射

ion beam sputtering

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IBS

离子束溅射隔热膜采用了离子束溅射(IBS)技术。离子束可分解不同类型的纯金属、合金、绝缘材料和半导体,使之成带点离子。

DIBS

离子束溅射DIBS)沉积技术是一种制备优质薄膜的重要方法。这种方法主要特点是运用一个功率较大的溅射离子源产生高 …

ion-beams sputtering

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