真空腔体
- 网络Vacuum Chamber; Vacuum Chambers; Vacuum Dewar
真空腔体
真空腔体
Vacuum Chamber
溅镀系统中包括了真空腔体(Vacuum chamber)、机械回转帮浦(Rotary pump , RP)及涡輪 分子帮浦(Turbo pump, TP)。腔体内 …
Vacuum Chambers
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Vacuum Dewar
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Aluminum Alloys Emissivity High Vacuum
成功大学电子学位论文服务 ... 朱旻峙 Min-Chih Chu 铝合金 放射率 真空腔体 Aluminum Alloys Emissivity High Vacuum ...
loadlock
主要的真空晶圆传送平台(mainframe)配以2个大气到初真空腔体(loadlock)及6个制程腔体介面,弹性的制程腔体搭配,可以大幅 …