电子回旋共振
- 网络ECR; electron cyclotron resonance, ECR; ECRF
电子回旋共振
电子回旋共振
ECR
...电子科技大学物理电子学院 论文摘要 : 近年来,因电子回旋共振(ecr)等离子体具有低气压、高密度、高电离度等优势而 …
electron cyclotron resonance, ECR
电子回旋共振(Electron cyclotron resonance, ECR)现象来增加(13)离子化程度,其可处理面积为一直径 16 cm 的圆面 。
ECRF
....4 离子回旋共振加热(ICRF)和驱动11.5 电子回旋共振(ECRF)11.6 低杂波11.7 α粒子加热参考文献第12章 磁体与电源12.1 磁 …
ECR-PECVD
按等离子体激发电源区分,有射频电源(RF-PECVD)、甚高频电源(VHF-PECVD)、电子回旋共振(ECR-PECVD)、线性 …
ECR, Electron Cyclotron Resonance
因此高密度电浆源有下列几种:1) 电子回旋共振(ECR, Electron Cyclotron Resonance);2) 螺旋波(Helicon Wave);3) 螺旋共 …
ECR-CVD
微波等离子体低温CVD金刚... ... 1.2.4 燃烧火焰 Combustion Flame CVD 1.2.5 电子回旋共振 ECR-CVD 1.2.6 微波等离子体 M…
ESR
也可以用光谱法检测出薄膜中一些农用化学品的存在。电子回旋共振(ESR)也用来检测降解过程中自由基的形成。
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