淀积物

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  • 网络illuvium; deposit; deposits

淀积物淀积物

淀积物

illuvium

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deposit

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deposits

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PSG

多晶硅用作结构材料,淀积物(PSG)作为牺牲层材料,氮化硅作为与基片的绝缘材料。这项工艺由伯克利大学的传感器执行器研 …

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