氮化硅
- 网络silicon nitride; SiNx; SixNy
氮化硅氮化硅
silicon nitride
光电词汇港台地区译法(S) - 飞达光学网 ... silicon monoxide 一氧化硅 silicon nitride 氮化硅 silicon photo-cell 硅光电池 ...
SiNx
氮化硅(SiNx)拥有高的击穿电压特性，具备自氢化修补的功能，广泛应用于非晶硅TFT，表47是PECVD生长薄膜的特性，氮化 …
SixNy
...气（N2）在放电状态下发生复杂的物理化学反应，生成氮化硅（SixNy）沉积在硅片的表面，形成一层致密的膜结构，这就是 …
SiON
或者，芯层可以包含氧氮化硅(SiON)或氮化硅(Si3N4)。包覆层可以包含二氧化硅。
RBSN
热压 氮化硅 (HPSN),反应化合 氮化硅 (RBSN)，化学气相沉积 (CVD)氮化硅等。