极紫外光
- 网络EUV; extreme ultraviolet; Extreme Ultraviolet, EUV
极紫外光极紫外光
EUV
...奈米以下技术节点下一世代微影技术的主要候选者，传统极紫外光(EUV)所搭配之光罩基板以低热膨胀系数材料(LTEM)为基材…
extreme ultraviolet
极紫外光源,... ... ) extreme ultraviolet sources 极端远紫外光源 ) extreme ultraviolet 极紫外光 ) UV light source 紫外光源 ...
Extreme Ultraviolet, EUV
本篇论文在於研究极紫外光(Extreme Ultraviolet, EUV)干涉式微影技术，主要内容包括干涉理论、极紫外光干涉成像性质分析、 …
extreme UV
极紫外光（extreme UV） 131 滑行式（sliding） 182 禁带（forbidden band） 158 补偿半导体（compensat ed semi cond- ucto…