机械系统
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机械系统
机械系统
mechanical system
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MEMS
微型电子机械系统(MEMS),是指集微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微 …
Mechanical Systems
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纳电子机械系统(NEMS)是近年来随着纳米技术和微电子机械系统(MEMS)的迅猛发展而发展起来的,由于特征尺度在纳米量级…
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