曝光后烘烤
- 网络Post Exposure Bake; postexposure bake,PEB
曝光后烘烤曝光后烘烤
Post Exposure Bake
(6)曝光后烘烤(post exposure bake) 当曝光进行时，部分没有被光阻吸收的光，将透过光阻到达基板的表面，由基 板表面反射 …
postexposure bake,PEB
其中前烘（postapply bake,PAB）、曝光后烘烤（postexposure bake,PEB）和显影是三个重要环节，每一步的工艺控制都能不 …