晶圆清洗
- 网络Water Cleaning; wafer; Wafer Cleaning
晶圆清洗
晶圆清洗
Water Cleaning
... 3-6 晶圆抛光(Polishing) 3-7 晶圆清洗(Water Cleaning) 参考文献 习 题 第四章 硅晶薄膜 4-1 简介 4-2 硅晶薄膜工艺原 …
wafer
● 晶圆清洗(wafer): NEC 公司於1994 年提出以电解硷性水代替氨水,能更有效去除尘粒 (particles),如图4 所示。由於电解硷 …
Wafer Cleaning
...ion) 6 晶圆抛光(Polishing) 7 晶圆清洗(Wafer Cleaning) 矽晶圆(Silicon Wafer)材料之所以在诸多元素或化合 物半导体材料中 …
Wafer clean
封装专业术语集锦.pdf - 豆丁网 ... (铁环) 4 5 清洗机 Wafer cleaner 6 晶圆清洗 Wafer clean 7 干燥箱 Oven 8 ...
Wafer Wash
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