拉晶
- 网络Crystal Pulling; MCZ; Crystall pulling
拉晶拉晶
Crystal Pulling
矽晶圆是利用特殊的拉晶(Crystal Pulling)装置将熔化的纯矽，缓慢旋转逐渐拉升冷却以获得单晶(Crystal)结构的晶棒(Ingot)，如 …
MCZ
... 。 所生长的晶体中氧分布比一般 CZ 单晶和磁控拉晶 (MCZ) 单晶都均匀 ,且很易于生长大直径单晶[10 ] 。 屠海令 [2 ] 最近详 …
Crystall pulling
...及加工。 3.硅晶(晶圆)生产简介 硅晶(晶圆) 拉晶( 拉晶(Crystall pulling) 晶柱研磨(Rod 晶柱研磨(Rod grinding) 线切(Wire 线切(...