射频电源
- 网络RF; RF power; RF Power Supply
射频电源射频电源
RF
清洁室 真空状态通入射频电源(RF),产生Plasma电浆,清洁基材表面 溅射缓冲室 基材等待区 溅射室 真空状态通入DC电源,产生 …
RF power
射频电源（RF Power） 121 射频辉光（Glow discharge） 113 差排（di sl ocat i on） 67, 68, 70-72, 本试阅档为五南所有。
RF Power Supply
在射频电源(图中RF Power supply)的作用下气体放电产生等离子体④。 这样在负偏压的基片上沉积出薄膜。
Radio Frequency
...反应室下部(放置晶片的支 架)及复合天线线圈组供给射频电源(Radio Frequency)，以使反应室 下部(Wafer and Pedestal)保持 …
RF generator
射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲，频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz …
Source RF
其工作原理如下，如图 2 所示，一个 射频电源（Source RF）加在一个电感线圈上，产生交变磁场从而产生感应电场。该电场 …
VRAD
手机专业名词维修术语缩略语中英文词典 ... VPROFLASH 编程控制电压 VRAD 射频电源(爱立信) VREF 基准或参考电压 ...
SEREN
上海英光电子-慧聪网 ... AC 交流电源 SEREN 射频电源 DC 直流电源 ...
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