出平面
- 网络out-of-plane
出平面
出平面
out-of-plane
...义结构的平面(in-plane)尺寸, 然而结构的出平面(out-of-plane)尺寸则是以非等向性矽湿蚀刻的方式定义,这点 和传统矽深蚀 …
1
2
3
4
5
6
7
8
9