关键尺寸
- 网络critical dimension; critical dimensions; Critical Dimension, CD
关键尺寸
关键尺寸
critical dimension
工程相关外语-轻松数控网 ... 关键的,重要的 critical 关键尺寸 critical dimension 临界面 critical plane ...
critical dimensions
当半导体元件的关键尺寸(critical dimensions)持续缩小的同时,微影制程的薄膜厚度控制就变得越来越重要,光阻黏度是一项重 …
Critical Dimension, CD
1 在关键尺寸(critical dimension, CD)使用4x(晶圆成像的尺寸为光罩图案尺 寸的四分之一),248 nm的氟化氪(KrF)扫描 …
CD-Critical Dimension
... 光刻形成了器件每一层的图形,并决定线宽和小直径的关键尺寸(CD-Critical Dimension)。
DICD
计量测量的一些 例子包括发展检验关键尺寸(DICD),最后检查关键尺寸(FICD)和薄膜的厚度。计量 测量通常在半导体晶 …
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