susceptor

美 [sə'septə]英 [sə'septə]
  • n.感受器;接受器;基座
  • 网络衬托器;承受器;承座

susceptorsusceptor

susceptor

基座

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感受器

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衬托器

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承受器

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承座

...合物原料进入装有晶圆的腔体 2 中,晶圆下方的石墨承座(susceptor)以某种方式加热(高周波感应或 是电阻)后以传导方式晶圆 …

加热器

在经由微波所产生等离子流的下游,引进反应瓦斯,可在内建有加热器susceptor)内,于低温形成薄膜。 亦有将反应瓦斯直 …

承载器

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支撑台

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