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  • 网络后段制程(Back End of Line);后段工艺过程;后段铜制程机台

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后段制程(Back End of Line)

后段制程 (BEOL) 中,好的应用最起码包含 pitch Via 1 模块。Via 1 中最严重的缺陷类型包括空洞、蚀刻不足、蚀刻过量、残留 …

后段工艺过程

它们用于后段工艺过程BEOL)聚合物的清洗,背面蚀刻和清洗以及一些新兴应用的处理,如用于90纳米以及以下技术标准20…

后段铜制程机台

UMCi于2003年1月装置后段铜制程机台BEOL),其后开始后段12寸晶圆铜制程的试产,而前段机台(FEOL)则于2003年底 …

后段工艺流程

...段制造设备,诸如光刻步进器等,可能会实现成本高效的后段工艺流程BEOL)器件封装。

后端制程

...场或暗场成像,这是第一台跨越前端制程(FEOL)和后端制程BEOL)检验应用的系统,却只需付出最低的拥有成本。

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