光刻技术

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光刻技术光刻技术

光刻技术

lithography

4.光刻技术(Lithography)成本所占比例增加 光刻技术在半导体业者晶圆厂资本支出中所占比例越来越高,上一代的ASMLXT系 …

photolithography

在1960年初期光刻技术(photolithography)开始应用到探测器制 造技术上,而作成多单元的探测器阵列(arrays)。首先发展了中 …

photetch

飞达光学网 光电词汇港台地区译法(P) ... photeolectric absorption 光电吸收 photetch 光蚀,光刻技术 photfluorgram 荧光屏照片 ...

optical lithography

1.1.1 传统的光刻技术 (Optical Lithography) 光刻技术是目前为止最成功,应用最广泛的基于自上而下微加工策略的图 案化工艺。

Lithography technology

关键词:光刻技术Lithography technology) ;分辨率增强技术 关键词 (Resolution-enhancement) 射线光刻(X-ray Lithog…

photoetching technique

光学专业常用英语词汇... ... photoetch integrated circuit 光刻集成电路 photoetching technique 光刻技术 photoresist 光刻胶 ...

NGL

这些技术统称为非光学光刻技术,或下一代 光刻技术(NGL)。由雷利第一公式可知最小线宽与波长成反 比,因此它们的共同特 …

EPL

目前正在开发的技术有电子投影光刻技术EPL)、离子投影光刻技术(IPL)、X-射线光刻技术、电子束直写光刻技术(EBD…

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