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介质靶
例句：
1
Under
the
same
parameters
,
the
sheath
near
the
dielectric
surface
is
thinner
than
that
near
the
metal
surface
.
在
相同
的
参数
条件
下
，
与
金属
靶
相比
，
介质
靶
表面
附近
的
鞘
层
厚度
变
薄
；
2
Effects
of
charging
at
dielectric
surfaces
on
the
characteristics
of the
sheath
for
plasma
immersion
ion
implantation
介质
靶
表面
的
充电
效应
对
等离子体
浸没
离子
注入
过程
中
鞘
层
特性
的
影响
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